多項選擇題分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

A.部品（配線和線架）可削減
B.配線整理作業(yè)可削減
C.指定配線等的管理工數(shù)部品在庫數(shù)可削減
D.不只是設(shè)備側(cè)的遠(yuǎn)程控制、也可進行本地操作


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1.多項選擇題UTM300B 泵的特點是什么（）？

A.按裝方向自由
B.控制器和泵體集成化
C.高壓縮比高背壓
D.采用磁浮軸承

2.多項選擇題離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

A.可獲得超、極高真空
B.安裝方向自由
C.無油環(huán)境
D.無噪音無振動

3.多項選擇題對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

A.抑制異常放電
B.正常放電恢復(fù)速度
C.使用壽命
D.維修速度

4.多項選擇題應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.納米金屬墨水
C.不銹鋼真空室
D.玻璃觀察窗

5.多項選擇題使用氦氣檢漏的原因是（）。

A.體積小
B.惰性氣體
C.無污染
D.容易驅(qū)散