多項(xiàng)選擇題

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

A.可獲得超、極高真空
B.安裝方向自由
C.無(wú)油環(huán)境
D.無(wú)噪音無(wú)振動(dòng)

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多項(xiàng)選擇題

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

A.抑制異常放電
B.正常放電恢復(fù)速度
C.使用壽命
D.維修速度

多項(xiàng)選擇題

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

A.靶材
B.納米金屬墨水
C.不銹鋼真空室
D.玻璃觀察窗