問答題

【簡答題】什么是負性光刻？正性光刻？

答案：負性光刻：把與掩膜版上圖形相反的圖形復制到硅片上。
正性光刻：把與掩膜版上圖形相同的圖形復制到硅片上。兩種工藝...

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【簡答題】根據成像結果的不同，光刻膠可分為哪兩種類型，其中哪種成本較低且應用較早？

答案：

正光刻膠和負光刻膠；負光刻膠。

【簡答題】顯影時，正膠和負膠的哪個區(qū)發(fā)生溶解？而哪個區(qū)則不會溶解。

答案：正膠的曝光區(qū)和負膠的非曝光區(qū)的光刻膠在顯影液中溶解，而正膠的非曝光區(qū)和負膠的曝光區(qū)的光刻膠則不會在顯影液中溶解（或很少溶...