問答題

【簡答題】
識別該圖所示工藝，寫出每個步驟名稱并進(jìn)行描述

答案： 1）氣相成底膜：清洗、脫水，脫水烘焙后立即用HMDS進(jìn)行成膜處理，起到粘附促進(jìn)劑的
作用。
2）涂膠...

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答案：

多層互連系統(tǒng)

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答案：物理性刻蝕、化學(xué)性刻蝕和物理化學(xué)性刻蝕。
1）物理性刻蝕-濺射刻蝕：等離子體中的離子或高能原子對襯底進(jìn)行轟擊，...