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并行工程的特征為(),(),(),()。
答案:
并行;整體;協(xié)同;集成
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柔性制造系統(tǒng)的組成包括:(),(),()和一套計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。
答案:
加工系統(tǒng);工件運(yùn)儲(chǔ)系統(tǒng);刀具運(yùn)儲(chǔ)系統(tǒng)
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大規(guī)模集成電路的微細(xì)制作方法有(),(),(),(),()。
答案:
延生長技術(shù);氧化;光刻;選擇擴(kuò)散;真空鍍膜
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