新的平坦化方法有哪幾個(gè)？（）

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

CMP的設(shè)備構(gòu)成包括（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

影響封裝芯片特性的溫度有（）。

芯片粘接的工藝過程包括（）。

光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。

光刻工藝對(duì)準(zhǔn)誤差包括（）。

摻雜后退火時(shí)間一般在（）。