名詞解釋

預淀積

答案： 與擴散實在較低溫度下，采用恒定表面源擴散方式，在硅片表面擴散一層數(shù)量一定按余誤差函數(shù)形式分布的雜質，由于溫度較低，且時間...
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兩步法擴散
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有限表面源擴散
答案： 如果擴散之前在硅片表面先淀積一層雜質，在整個擴散過程中這層雜志作為擴散的雜質源，不再有新源補充，這種擴散方式稱為有限表面...
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