單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)重點(diǎn)在于()。

A.清潔刻蝕腔
B.更換零部件
C.校準(zhǔn)儀器
D.以上都是


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1.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕速率的方法不包括()。

A.增加刻蝕氣體流量
B.提高溫度
C.降低壓力
D.減小刻蝕面積

2.單項(xiàng)選擇題刻蝕過程中的側(cè)壁垂直度主要影響()。

A.器件性能
B.材料純度
C.生產(chǎn)效率
D.成本

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的精度主要取決于()。

A.刻蝕方法
B.刻蝕氣體
C.設(shè)備結(jié)構(gòu)
D.控制系統(tǒng)

4.單項(xiàng)選擇題濕法刻蝕通常使用的刻蝕劑是()。

A.強(qiáng)酸
B.強(qiáng)堿
C.鹽溶液
D.有機(jī)溶液

5.單項(xiàng)選擇題干法刻蝕中常用的刻蝕氣體有()。

A.氧氣
B.氮?dú)?br/>C.氯氣
D.氫氣