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【簡答題】開發(fā)多晶硅技術解決了什么問題?
答案:
常規(guī)CMOS結構的閂鎖效應嚴重地影響電路的可靠性,解決閂鎖效應
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【簡答題】版圖設計規(guī)則可以用什么形式給出?
答案:
微米規(guī)則和λ規(guī)則。
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【簡答題】在氧化層上形成所需要的圖形的步驟是什么?
答案:
甩膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠。
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