問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述硅單晶研磨清洗的重要性。

答案: 硅片清洗的重要性:硅片表面層原子因垂直切片方向的化學(xué)鍵被破壞成為懸掛鍵,形成表面附近的自由力場(chǎng),極易吸附各種雜質(zhì),如顆粒...
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問(wèn)答題

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答案:

切片決定了硅片的四個(gè)重要參數(shù):晶向、厚度、斜度、翹度和平行度。

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】將硅單晶棒制成硅片的過(guò)程包括哪些工藝?

答案:

包括:切斷、滾磨、定晶向、切片、倒角、研磨、腐蝕、拋光、清洗、檢驗(yàn)。

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