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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】與Al布線(xiàn)相比，Cu布線(xiàn)有何優(yōu)點(diǎn)？
答案：
銅作為互連材料，其抗電遷移性能比鋁好，電阻率低，可以減小引線(xiàn)的寬度和厚度，從而減小分布電容。
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問(wèn)答題
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答案：
硅片清洗的重要性：硅片表面層原子因垂直切片方向的化學(xué)鍵被破壞成為懸掛鍵，形成表面附近的自由力場(chǎng)，極易吸附各種雜質(zhì)，如顆粒...
