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答案：

損傷類型：空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。

答案：對晶體靶進(jìn)行離子注入時(shí)，當(dāng)離子注入的方向與靶晶體的某個(gè)晶向平行時(shí)，其運(yùn)動軌跡將不再是無規(guī)則的，而是將沿溝道運(yùn)動并且很少受...