問答題

【簡答題】什么是離子注入損傷?

答案:

離子注入損傷,是指獲得很大動能的離子直接進(jìn)入半導(dǎo)體中造成的一些晶格缺陷。

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【簡答題】有哪些損傷類型?

答案:

損傷類型:空位、間隙原子、間隙雜質(zhì)原子、替位雜質(zhì)原子等缺陷和襯底晶體結(jié)構(gòu)損傷。

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【簡答題】什么是溝道效應(yīng)?

答案: 對晶體靶進(jìn)行離子注入時(shí),當(dāng)離子注入的方向與靶晶體的某個(gè)晶向平行時(shí),其運(yùn)動軌跡將不再是無規(guī)則的,而是將沿溝道運(yùn)動并且很少受...
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