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問答題
【簡答題】什么是spacing?如何量測?
答案：
在電性測量中，給一條線(poly or metal)加一定電壓，測量與此線相鄰但不相交的另外一線的電流，此電流越小越好。...
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問答題
【簡答題】在量測Poly/metal導(dǎo)線的特性時, 是利用什么電性參數(shù)得知?
答案：
答可由電性量測所得的spacing & Rs 值來表現(xiàn)導(dǎo)線是否異常。
