問答題

【簡答題】影響Contact （CT） Rc的主要原因可能有哪些？

答案： ①ILD CMP 的厚度是否異常；
②CT 的CD大小；
③CT&en...

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【簡答題】什么是Rc? Rc代表什么意義？

答案：接觸窗電阻，具體指金屬和半導(dǎo)體（contact）或金屬和金屬(via)，在相接觸時在節(jié)處所形成的電阻，一般要求此電阻越小...

【簡答題】在量測Contact /Via（是指metal與metal之間的連接）的接觸窗開的好不好時, 我們是利用什么電性參數(shù)來得知的?

答案：通過Contact 或Via的 Rc值，Rc值越高，代表接觸窗的電阻越大, 一般來說我們希望Rc 是越小越好的。