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【簡答題】在量測Contact /Via(是指metal與metal之間的連接)的接觸窗開的好不好時, 我們是利用什么電性參數(shù)來得知的?
答案:
通過Contact 或Via的 Rc值,Rc值越高,代表接觸窗的電阻越大, 一般來說我們希望Rc 是越小越好的。
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【簡答題】Top metal和inter metal的厚度,線寬有何不同?
答案:
Top metal通常要比inter metal厚得多,0.18um工藝中inter me...
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【簡答題】為何各金屬層之間的連接大多都是采用CVD的W-plug(鎢插塞)?
答案:
① 因為W有較低的電阻;
② W有較佳的step coverage(階梯覆蓋能力)。
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