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【簡(jiǎn)答題】何為化學(xué)氣相蒸鍍(CVD)?主要的優(yōu)缺點(diǎn)有哪些?
答案:
化學(xué)氣相蒸鍍乃使用一種或多種氣體,在一加熱的固體基材上發(fā)生化學(xué)反應(yīng),并鍍上一層固態(tài)薄膜。
優(yōu)點(diǎn):
(...
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CVD生長(zhǎng)鉆石膜的瓶頸乃在避免碳?xì)浠镄纬墒?,因此氫原子?yīng)比碳源多很多。碳源濃度決定了鉆石膜的生長(zhǎng)速率,但碳源太高時(shí)氫...
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