單項選擇題摻氯氧化使用的HCL是()。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源


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2.單項選擇題以下哪項不是STI工藝氣體?()

A.SiH4
B.O2
C.N2O
D.Ar

3.單項選擇題CMP清洗部分的順序是()。

A.兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)-Brush(刷洗)
B.兆聲清洗(Meg)-Brush(刷洗)-SRD(甩干)
C.Brush(刷洗)-兆聲清洗(Meg)-SRD(甩干)
D.Brush(刷洗)-SRD(甩干)-兆聲清洗(Meg)

4.單項選擇題高電流注入機的掃描方式為()。

A.靜電掃描
B.機械掃描
C.靜電掃描與機械掃描結合

5.單項選擇題下列選項屬于BF3的特性的是()

A.黃色標識,有白煙
B.紅色標識,臭大蒜味道
C.黑色標識,無色大蒜味