對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

定期應(yīng)該對(duì)變頻器進(jìn)行除塵，重點(diǎn)是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

熔斷器長期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會(huì)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識(shí)、感知、處理、信息傳送四個(gè)環(huán)節(jié)。其中“感知”對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

（）又稱“島式加工單元”。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。