當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

金屬化中可選用的金屬材料有（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

封裝工藝中，銀漿固化的溫度為（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

芯片粘接的工藝過程包括（）。

常壓的硅外延方法有（）。

互連工藝中AL的制備可選用（）。