1887年，Hertz建立了XPS技術的理論模型。

每種晶體物質都有自己特定的晶體結構，晶體結構不同則X射線衍射花樣也就各不相同。

掃描電鏡的二次電子像中，樣品表面的深凹槽底部產(chǎn)生較多二次電子，在熒光屏上這些部位的亮度較大。

X射線衍射儀中，通常用于測定2θ范圍不大的一段衍射圖，常用于精確測定衍射峰的積分強度和位置的掃描方式為（）。

在電子探針面分析中，根據(jù)圖像上亮點的疏密和分布，可確定該元素在試樣中分布情況，亮區(qū)代表元素含量（）。

變形振動分為（）。

孔徑半角越小，衍射效應所決定的電磁透鏡的分辨率越高。

被樣品原子核反彈回來的入射電子稱為非彈性背散射電子，能量基本上沒有損失。

利用電子探針對材料微區(qū)成分進行面分析，包含幾種元素就顯示幾種元素的分布圖像。

掃描電鏡的背散射電子像中，圖像上亮區(qū)對應區(qū)域的原子序數(shù)（）暗區(qū)對應區(qū)域的原子序數(shù)。