ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點（）？

套簡滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？

工業(yè)機(jī)器人在裝配行業(yè)應(yīng)用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。