問(wèn)答題描述硅片偏置對(duì)HDPCVD方向性的影響。
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1.問(wèn)答題解釋HDPCVD,它在IC中有什么優(yōu)勢(shì)?
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3.問(wèn)答題沉積多晶硅柵材料采用什么CVD工具,列舉多晶硅作為柵電極的6個(gè)原因。
5.問(wèn)答題列出沉積的5種主要技術(shù)。
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