進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。

光刻工藝的特點包括（）。

光刻工藝對準(zhǔn)誤差包括（）。

進(jìn)行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

消除鳥嘴效應(yīng)的方法有（）。

下面哪個選項不是集成電路工藝用化學(xué)氣體質(zhì)量的指標(biāo)？（）

目前制備SOI材料的主流技術(shù)有幾種？（）

碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）