問(wèn)答題列出并描述I線光刻膠的4種成分。
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新的平坦化方法有哪幾個(gè)？（）
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CE定律發(fā)展面臨的問(wèn)題包括（）。
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進(jìn)行溝槽填充常用的金屬材料是（）。
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硅暴露在空氣中，在室溫下即可產(chǎn)生二氧化硅層，厚度約為（）。
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下面哪道工序主要是針對(duì)晶圓切割之后在顯微鏡下進(jìn)行晶圓r的外觀檢查，是否有出現(xiàn)廢品？（）
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注入損傷與注入離子的以下哪個(gè)參數(shù)無(wú)關(guān)？（）
題型：?jiǎn)雾?xiàng)選擇題
互連工藝中AL的制備可選用（）。
題型：多項(xiàng)選擇題