問答題

【簡答題】列出并描述I線光刻膠的4種成分。

答案： 1.樹脂。光刻膠樹脂是一種惰性的聚合物基質(zhì)，用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑
2.感光劑。是光刻膠材料...

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【簡答題】什么是負(fù)膠分辨率的限制，哪種膠應(yīng)用在亞微米光刻膠中？

答案：

由于顯影時的變形和膨脹，負(fù)性光刻膠通常只有2μm的分辨率。
正性光刻膠。

【簡答題】列出并描述兩種主要的光刻膠。

答案：負(fù)性光刻膠和正性光刻膠。負(fù)性光刻膠是負(fù)相的掩膜圖形形成在光刻膠上、正相掩膜圖形出現(xiàn)在光刻膠上。