新的平坦化方法有哪幾個？（）

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。

摻雜后，退火的目的是（）。

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關？（）

CE定律發(fā)展面臨的問題包括（）。

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結合來實現(xiàn)圖形的轉移？（）

硅暴露在空氣中，在室溫下即可產生二氧化硅層，厚度約為（）。

化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。