最新試題
解釋光刻膠顯影。光刻膠顯影的目的是什么?
題型:?jiǎn)柎痤}
解釋正性光刻和負(fù)性光刻的區(qū)別?為什么正膠是普遍使用的光刻膠?最常用的正膠是指哪些膠?
題型:?jiǎn)柎痤}
給出投影掩模板的定義。投影掩模板和光掩模板的區(qū)別是什么?
題型:?jiǎn)柎痤}
解釋什么是暗場(chǎng)掩模板?
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例舉離子注入工藝和擴(kuò)散工藝相比的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。
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敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
題型:?jiǎn)柎痤}
什么是硅化物?難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么?
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例出光刻的8個(gè)步驟,并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
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解釋掃描投影光刻機(jī)是怎樣工作的?掃描投影光刻機(jī)努力解決什么問題?
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例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。
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