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光刻膠對(duì)人部分可見光敏感,但對(duì)()光不敏感。
A.黃
B.紅
C.紫
D.藍(lán)
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單項(xiàng)選擇題
高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進(jìn)光刻機(jī)上,那么i線的UV光波長為()
A.416nm
B.405nm
C.365nm
D.740nm
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單項(xiàng)選擇題
堅(jiān)膜烘焙在加熱平板上進(jìn)行,溫度控制在()。
A.100℃~150℃
B.130℃~200℃
C.110~130℃
D.85~120℃
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