問答題

【簡答題】CVD分類及應用？分哪幾類？分別用于制備哪些東西？

答案：

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【簡答題】簡述化學氣相淀積的原理？

答案： ①氣態(tài)反應劑被輸送至反應腔，以平流形式向出口流動。
②反應劑從主氣流區(qū)以擴散方式通過邊界層到達硅片表面。

【簡答題】簡述化學氣相淀積的概念？

答案：化學氣相淀積（CVD）是通過混合氣體的化學反應生成固體反應物并使其淀積在硅片表面形成薄膜的工藝。反應產(chǎn)生的其他副產(chǎn)物為揮...