單項選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的性能參數(shù)（）？

A.刻蝕速率
B.刻蝕深度
C.刻蝕寬度
D.刻蝕顏色


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1.單項選擇題刻蝕機(jī)的刻蝕深度控制精度通常在（）。

A.納米級別
B.微米級別
C.毫米級別
D.厘米級別

2.單項選擇題刻蝕機(jī)在集成電路制造中的作用是（）。

A.形成電路圖形
B.沉積金屬層
C.檢測電路缺陷
D.封裝芯片

3.單項選擇題刻蝕機(jī)的故障診斷方法包括（）。

A.傳感器監(jiān)測
B.數(shù)據(jù)分析
C.人工檢查
D.以上都是

4.單項選擇題減少刻蝕過程中的損傷可以采用（）。

A.低溫刻蝕
B.分步刻蝕
C.優(yōu)化刻蝕氣體
D.以上都是

5.單項選擇題刻蝕過程中的橫向刻蝕主要影響（）。

A.圖形精度
B.刻蝕速率
C.刻蝕選擇性
D.刻蝕均勻性