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問答題

【簡答題】什么叫硅的熱氧化？有哪幾種熱氧化技術(shù)？

答案：硅的熱氧化法是指硅與氧或水汽，在高溫下經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成SiO₂。根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為干氧氧...

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答案：集成電路基本制造工藝包括：外延生長，掩模制造，光刻，刻蝕，摻雜，絕緣層形成，金屬層形成等。

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答案：

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