問答題

【簡答題】例出并描述4種真空范圍。

答案: 四種真空范圍:
(1)低級真空:氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的(也稱滯留),壓強(qiáng)高得足以機(jī)械型壓力測量儀測量。
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【簡答題】解釋投射電子能顯微鏡。

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【簡答題】硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是什么?

答案: 硅片關(guān)鍵尺寸測量的主要工具是掃描電子顯微鏡(SEM),它能放大10萬到30萬倍,這明顯高于光學(xué)顯微鏡,用掃描電子顯微鏡觀...
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