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問答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述電子束曝光的特點(diǎn)
答案:
1)優(yōu)點(diǎn):分辨率比光學(xué)曝光高;無(wú)需光刻板;曝光自動(dòng)化,加工精度高;在真空中進(jìn)行;可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2)缺...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】微電子器件對(duì)接觸和互連有什么要求?獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種?
答案:
對(duì)接觸和互連有的基本要求有:
1)能形成良好的歐姆接觸;
2)互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性;...
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名詞解釋
外延
答案:
一種在單晶或多晶襯底上生長(zhǎng)一層單晶或多晶薄膜的技術(shù)。
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