單項(xiàng)選擇題刻蝕過(guò)程中的掩膜材料通常要求（）。

A.耐高溫
B.耐刻蝕
C.導(dǎo)電性好
D.以上都是


您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

1.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的冷卻系統(tǒng)通常采用（）。

A.風(fēng)冷
B.水冷
C.液氮冷卻
D.自然冷卻

2.單項(xiàng)選擇題刻蝕過(guò)程中的等離子體密度對(duì)刻蝕效果的影響是（）。

A.密度越高，刻蝕速率越快
B.密度越高，刻蝕選擇性越好
C.密度越高，刻蝕均勻性越差
D.密度越高，刻蝕損傷越大

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的真空泵選擇主要依據(jù)（）。

A.抽氣速率
B.極限真空度
C.耐腐蝕性
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的定期校準(zhǔn)周期通常為（）。

A.每天
B.每周
C.每月
D.每年

5.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕均勻性的關(guān)鍵在于（）。

A.優(yōu)化氣體分布
B.穩(wěn)定溫度和壓力
C.改進(jìn)掩膜設(shè)計(jì)
D.以上都是