問(wèn)答題什么是阻擋層金屬?阻擋層材料的基本特征是什么?哪種金屬常被用作阻擋層金屬?
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給出投影掩模板的定義。投影掩模板和光掩模板的區(qū)別是什么?
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在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
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描述曝光波長(zhǎng)和圖像分辨率之間的關(guān)系。
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