問答題

【簡答題】解釋鋁已經(jīng)被選擇作為微芯片互連金屬的原因。

答案: (1)鋁與P型硅及高濃度N型硅均能形成低歐姆接觸;
(2)電阻率低;
(3)與SiO2
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問答題

【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。

答案: 金屬用于硅片制造的七個(gè)要求:
1.導(dǎo)電率:為維持電性能的完整性,必須具有高電導(dǎo)率,能夠傳導(dǎo)高電流密度。
問答題

【簡答題】解釋下列名詞:互連、接觸、通孔和填充塞。

答案: (1)互連:由導(dǎo)電材料,如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號(hào)傳輸?shù)叫酒牟煌糠??;ミB也被用于芯片上器件和器件整個(gè)封裝之間...
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