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【簡答題】例舉并描述金屬用于硅片制造的7種要求。
答案:
金屬用于硅片制造的七個要求:
1.導電率:為維持電性能的完整性,必須具有高電導率,能夠傳導高電流密度。
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【簡答題】解釋下列名詞:互連、接觸、通孔和填充塞。
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(1)互連:由導電材料,如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號傳輸?shù)叫酒牟煌糠?。互連也被用于芯片上器件和器件整個封裝之間...
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【簡答題】采用LPCVD TEOS淀積的是什么膜?這層膜的優(yōu)點是什么?
答案:
多晶硅薄膜
用TEOS(正硅酸乙酯)-臭氧方法淀積SiO
2
Si(C
...
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