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問答題

【簡答題】解釋下列名詞：互連、接觸、通孔和填充塞。

答案：（1）互連：由導(dǎo)電材料，如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號傳輸?shù)叫酒牟煌糠??；ミB也被用于芯片上器件和器件整個封裝之間...

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用TEOS（正硅酸乙酯）-臭氧方法淀積SiO₂ Si（C_...

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淀積速率受反應(yīng)物傳輸速度限制，即不能提供足夠的反應(yīng)物到襯底表面，速率對溫度不敏感（如...