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問答題
【簡答題】在MOCVD中，基本的化學(xué)反應(yīng)方程式是？
答案：
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問答題
【簡答題】什么是MOCVD？它有哪些特點(diǎn)？
答案：
是一個將特定的源材料通過一系列嚴(yán)格控制，傳輸?shù)郊訜嵘L區(qū)，在此生長區(qū)，源材料熱分解后的元素化合形成具有一定光、電性能的晶...
問答題
【簡答題】簡述化學(xué)氣相沉積（CVD）的優(yōu)點(diǎn)。
答案：
準(zhǔn)確控制薄膜的組分和摻雜水平、可在復(fù)雜的襯底上沉積薄膜、不需要昂貴的真空設(shè)備、高溫沉積可改善結(jié)晶完整性、可在大尺寸基片上...
