問答題

【簡答題】簡述什么是異類反應和同類反應？

答案：異類反應：反應發(fā)生在硅片表面或非常接近表面。
同類反應：反應發(fā)生在離硅片很遠的高空。必須避免同類反應生成薄膜束...

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【簡答題】描述CVD生長的簡化過程。寫出影響CVD生長速率的因素。

答案：
影響CVD生長速率的因素：①質(zhì)量傳輸限制（常壓CVD）；②表面反應限制（低壓CVD）；③CVD氣流動力學；④...

【簡答題】簡述集成電路對薄膜的要求。

答案： ①好的臺階覆蓋能力；
②填充高深寬比間隙的能力；
③好的厚度均勻性；
④高純度和高密度；<...