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問答題
【簡答題】簡述常壓CVD系統(tǒng)（APCVD）的優(yōu)缺點。
答案：
質(zhì)量輸運(yùn)限制為主、氣流控制要求高。
優(yōu)點：沉積速度高。
缺點：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...
優(yōu)點：沉積速度高。
缺點：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...
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問答題
【簡答題】簡述什么是異類反應(yīng)和同類反應(yīng)？
答案：
異類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在硅片表面或非常接近表面。
同類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在離硅片很遠(yuǎn)的高空。必須避免同類反應(yīng)生成薄膜束...
同類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在離硅片很遠(yuǎn)的高空。必須避免同類反應(yīng)生成薄膜束...
問答題
【簡答題】描述CVD生長的簡化過程。寫出影響CVD生長速率的因素。
答案：
影響CVD生長速率的因素：①質(zhì)量傳輸限制（常壓CVD）；②表面反應(yīng)限制（低壓CVD）；③CVD氣流動力學(xué)；④...
影響CVD生長速率的因素：①質(zhì)量傳輸限制（常壓CVD）；②表面反應(yīng)限制（低壓CVD）；③CVD氣流動力學(xué)；④...
