問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述低壓CVD系統(tǒng)（LPCVD）的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案：反應(yīng)速度限制為主、溫度控制要求高。
優(yōu)點(diǎn)：膜致密、顆粒少，硅片可密集擺放，臺(tái)階覆蓋較好（主要決定于反應(yīng)氣體）。...

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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述常壓CVD系統(tǒng)（APCVD）的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案：質(zhì)量輸運(yùn)限制為主、氣流控制要求高。
優(yōu)點(diǎn)：沉積速度高。
缺點(diǎn)：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述什么是異類反應(yīng)和同類反應(yīng)？

答案：異類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在硅片表面或非常接近表面。
同類反應(yīng)：反應(yīng)發(fā)生在離硅片很遠(yuǎn)的高空。必須避免同類反應(yīng)生成薄膜束...