問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述在APCVD SiO₂時(shí)摻雜PH₃，形成磷硅玻璃（PSG）的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案：

優(yōu)點(diǎn)：吸附可動(dòng)離子電荷改善器件界面，降低玻璃的軟化點(diǎn)溫度易于平坦化。
缺點(diǎn)：易吸潮，一般控制P₂O₅的含量在4%以下。

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優(yōu)點(diǎn)：膜致密、顆粒少，硅片可密集擺放，臺(tái)階覆蓋較好（主要決定于反應(yīng)氣體）。...

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優(yōu)點(diǎn)：沉積速度高。
缺點(diǎn)：膜致密性差、顆粒多，氣體消耗大、硅片不...