問答題

【簡答題】簡述濺射的優(yōu)缺點(diǎn)。

答案：

優(yōu)點(diǎn)：①臺(tái)階覆蓋能力好；②能沉積金屬合金；③能進(jìn)行原位濺射刻蝕。
缺點(diǎn)：濺射速率低，金屬膜含氬。

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答案：

優(yōu)點(diǎn)：①成膜速率高（能蒸發(fā)5微米厚的鋁膜）；②金屬膜純度高。
缺點(diǎn)：①臺(tái)階覆蓋能力差；②不能沉積金屬合金。

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答案：沉積多晶硅采用LPCVD。
用途：①摻雜的Poly－Si在MOS器件中用做柵電極；
②摻雜的Poly...