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問答題
【簡答題】什么是薄膜？例舉并描述可接受的薄膜的8個特性。
答案：
薄膜：指某一維尺寸遠小于另外兩維上的尺寸的固體物質。
好的臺階覆蓋能力、高的深寬比填隙能力（>3：1）
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問答題
【簡答題】立式爐系統(tǒng)的五部分是什么？例舉并簡單描述？
答案：
工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)
工藝腔是對硅片加熱的場所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...
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