問(wèn)答題離子在靶內(nèi)運(yùn)動(dòng)時(shí)，損失能量可分核阻滯和電子阻滯，解釋什么是核阻滯、電子阻滯？?jī)煞N阻滯本領(lǐng)與注入離子能量具有何關(guān)系？
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1.問(wèn)答題
下圖為一個(gè)典型的離子注入系統(tǒng)。（1）給出1~6數(shù)字標(biāo)識(shí)部分的名稱(chēng)，簡(jiǎn)述其作用。（2）闡述部件2的工作原理。
2.問(wèn)答題
Si-SiO2界面電荷有哪幾種？簡(jiǎn)述其來(lái)源及處理辦法。
4.問(wèn)答題簡(jiǎn)述在熱氧化過(guò)程中雜質(zhì)再分布的四種可能情況。
5.問(wèn)答題說(shuō)明影響氧化速率的因素。
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