解釋離子束擴展和空間電荷中和。

什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？

例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

光刻中采用步進掃描技術獲得了什么好處？

例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。

解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的？掃描投影光刻機努力解決什么問題？

干法刻蝕的目的是什么？例舉干法刻蝕同濕法刻蝕相比具有的優(yōu)點。干法刻蝕的不足之處是什么？

描述曝光波長和圖像分辨率之間的關系。

解釋光刻膠顯影。光刻膠顯影的目的是什么？

例舉并描述光刻中使用的兩種曝光光源。