例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的？掃描投影光刻機努力解決什么問題？

離子源的目的是什么？最常用的離子源是什么？

解釋光刻膠選擇比。要求的比例是高還是低？

例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數。

什么是摻雜？例舉四種常用的摻雜雜質并說明它們是n型還是p型？

描述電子回旋共振（ECR）。

例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點。

描述化學機械平坦化工藝。

什么是阻擋層金屬？阻擋層材料的基本特征是什么？哪種金屬常被用作阻擋層金屬？