問(wèn)答題簡(jiǎn)述外延薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程，其最顯著的特征是什么？
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光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處？
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定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低？高選擇比意味著什么？
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什么是摻雜？例舉四種常用的摻雜雜質(zhì)并說(shuō)明它們是n型還是p型？
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