多項選擇題

可以采取哪種方法來提高光刻分辨率（）

A.增長光源波長
B.增大分辨率系數(shù)
C.減小分辨率系數(shù)
D.縮短光源波長

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多項選擇題

下列哪個工藝方法應用了等離子體技術（）

A.RIE
B.MOCVD
C.濺射
D.LPCVD

單項選擇題

實際VPE工藝溫度多在質量傳遞控制區(qū)，此時外延速率（）

A.對溫度不太敏感
B.對溫度非常敏感
C.源的氣相擴散的影響不大
D.源氣體分壓的影響不大