多項(xiàng)選擇題

下列哪個工藝方法應(yīng)用了等離子體技術(shù)（）

A.RIE
B.MOCVD
C.濺射
D.LPCVD

你可能感興趣的試題

單項(xiàng)選擇題

實(shí)際VPE工藝溫度多在質(zhì)量傳遞控制區(qū)，此時外延速率（）

A.對溫度不太敏感
B.對溫度非常敏感
C.源的氣相擴(kuò)散的影響不大
D.源氣體分壓的影響不大

涂膠前的打底膜是為了增強(qiáng)光刻膠與襯底之間的浸潤性。

答案：正確

<ul id="gu6ea"><pre id="gu6ea"></pre></ul>